Quantum Scalar i80 Betriebsanweisung Seite 326

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Chapter 9: Installing, Removing, and Replacing Components
Replacing the Y-tray with Robot
298 Quantum Scalar i40 and Scalar i80 User’s Guide
Replacing the Y-tray with Robot
Y-tray with Robot replacement is a service-only procedure. If the Y-tray
fails, you will need to call Quantum Support for a replacement.
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